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성공사례-실용신안

가스 불순물 제거 장치(Gas eliminator for semiconductor facility)

페이지 정보

작성자 관리자 작성일 조회874회

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실용신안 출원일자 : 2009.02.13

실용신안 등록일자 : 2011.03.17

실용신안 등록번호 : 20-0452883-0000



본 고안은, 수분사물 경사교류형 엘리미네이터에 관련한 것으로서, 특히, 채널 구조를 통과하는 가스 불순물을 제거하기 위해 채널 관로 도중에 설치되는 엘리미네이터에 있어서, 상기 엘리미네이터는 다수의 파상 주름 단면을 갖는 걸름판을 일정각도로 교호 경사지게 다수 적층하여 형성되고, 상기 이웃하여 경사 배열된 파상 걸름판의 파상 유동로가 일정 각도로 경사지게 교차되어, 상기 채널을 따라 직선형으로 유동되는 가스와 불순물이 통과되지 않고 각각의 유동통로를 경사방향으로 부딪혀 경사 유동하면서 필터링되어 낙하되도록 구성된 것을 특징으로 하여, 송풍팬의 저 동력화를 도모하기 위해, 상기 걸름판을 수평 또는 수직으로 교호하여 경사지게 적층 배열한 엘리미네이터 구조를 안출하여, 엘리미네이터의 조립시 필요한 절차를 간소화시켜 비용을 절약하는 효과와 설치 완료시 걸름판의 깊이 축소를 도모할 수 있도록 하였다.

대표변리사

김순웅

정진국제특허법률사무소 상담문의 02-6677-7612