금속 리튬 코팅을 형성하는 방법
금속 리튬 코팅을 형성하는 방법
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특허 출원일자 : 2017.08.02
특허 등록일자 : 2022.09.13
특허 등록번호 : 10-2443882-0000
용융된 리튬 타겟을 형성하기 위해 고체 리튬 타겟을 용융시키는 단계; 용융된 리튬 타겟을 교반시키는 단계; 기화된 물질을 형성하기 위해 교반된 용융된 리튬 타겟의 적어도 일부를 기화시키는 단계; 및 리튬 코팅을 형성하기 위해서 기판 상에 기화된 물질을 응축시키는 단계를 포함하는 기판 상에 리튬 코팅을 형성하는 방법.
대표변리사 김순웅 |
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