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임의의 입사각에서의 코히어런트 회절 영상

페이지 정보

작성자 관리자 작성일 조회266회

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특허 출원일자 : 2015.08.28

특허 등록일자 : 2022.06.30

특허 등록번호 : 10-2416784-0000



입사 조명(20, 21)의 임의의 각도(17)에서의 코히어런트 회절 영상을 위한 장치 및 방법은 검출기 픽셀 어레이(초기 그리드)(27)로부터, 재매핑된 패턴 상에서의 FFT를 가능하게 하도록 선택되는 균일한 공간 주파수 그리드(최종 그리드(202)로 검출된 회절 강도 패턴(212)을 고속 매핑하는 방법을 이용한다. 이는 공간 주파수에서 선형인 최종 그리드를 생성하도록 선택된 중간 그리드에 초기 그리드를 재매핑함으로써 달성된다. 초기 그리드는 최종 그리드에 대응하도록 계산된 중간 그리드로 재매핑(일반적으로 보간법에 의해)된다. 일반적으로, 초기 그리드(x,y)는 공간적으로 균일하고, 중간 그리드  는 공간 주파수가 비균일하며, 최종 그리드  는 공간 주파수가 균일하다.

대표변리사

김순웅

정진국제특허법률사무소 상담문의 02-6677-7612