현미경 검사에서 대 영역 이미징을 용이하게 하는 카메라 및 표본 정렬
현미경 검사에서 대 영역 이미징을 용이하게 하는 카메라 및 표본 정렬
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작성자 관리자 작성일 조회344회관련링크
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특허 출원일자 : 2017.05.16
특허 등록일자 : 2022.06.24
특허 등록번호 : 10-2414312-0000
현미경 시스템 및 방법은 표본을 따라 스캐닝되는 원하는 x'-방향이 XY 병진 스테이지의 x- 방향으로부터 각도로 오프셋 되도록 하고, 원하는 x'-방향에 실질적으로 평행하게 이미지 센서의 픽셀 로우를 배치하기 위해 현미경과 관련된 이미지 센서를 회전시킨다. x-방향에 대한 x'-방향의 오프셋의 각도가 결정되고, XY 병진 스테이지는 y'-방향으로 표본에 대해 이미지 센서의 실질적인 이동 없이 원하는 x'-방향을 따라 다른 위치들로 이미지 센서에 대해 이동시키기 위해 사용되며, y'-방향은 표본의 x'-방향과 직교한다. 이동은 오프셋의 각도에 기초한다.
대표변리사 김순웅 |
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