반도체 X-선 검출기를 제조하는 방법
반도체 X-선 검출기를 제조하는 방법
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특허 출원일자 : 2015.04.07
특허 등록일자 : 2022.05.25
특허 등록번호 : 10-2403444-0000
X-선을 검출하는데 적합한 장치를 제조하는 방법이 개시되며, 이러한 방법은, 제 1 표면(124) 및 제 2 표면(128)을 갖는 기판(122)을 획득하는 것(여기서, 기판(122)은, 기판(122) 내에 혹은 기판(122) 상에 있는 전자기기 시스템(121); 그리고 제 1 표면(124) 상에 있는 복수의 전기적 접촉부들(125)을 포함함); 제 1 X-선 흡수 층(110)을 포함하는 제 1 칩을 획득하는 것(여기서, 제 1 X-선 흡수 층(110)은 전극을 포함함); 그리고 제 1 X-선 흡수 층(110)의 전극이 전기적 접촉부들(125) 중 적어도 하나에 전기적으로 연결되도록 제 1 칩을 기판(122)에 본딩하는 것을 포함한다.
대표변리사 김순웅 |
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