웨이퍼 캐리어 그립 유닛
웨이퍼 캐리어 그립 유닛
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특허 출원일자 : 2020.10.08
특허 등록일자 : 2022.04.25
특허 등록번호 : 10-2391958-0000
본 발명은 웨이퍼 캐리어 그립 유닛에 관한 것으로, 수평하게 배치되는 상부 플레이트; 상기 상부 플레이트의 하부면에 결합되는 연결부, 상기 연결부의 하부에 결합되는 하부 플레이트, 및 상기 하부 플레이트에 결합되고 상기 카세트에 수납된 웨이퍼의 테두리에 접하여 상기 웨이퍼를 고정시키는 복수의 핑거를 구비하는 가드 클램프를 포함한다. 이러한 본 발명은 OHT가 승하강, 직선 또는 곡선부를 주행할 때 발생할 수 있는 웨이퍼의 흔들림을 방지하여 웨이퍼의 손상을 방지하는 효과가 있다.
대표변리사 김순웅 |
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