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성공사례-특허사례

웨이퍼 캐리어 그립 유닛

페이지 정보

작성자 관리자 작성일 조회393회

본문



특허 출원일자 : 2020.10.08

특허 등록일자 : 2022.04.25

특허 등록번호 : 10-2391958-0000



본 발명은 웨이퍼 캐리어 그립 유닛에 관한 것으로, 수평하게 배치되는 상부 플레이트; 상기 상부 플레이트의 하부면에 결합되는 연결부, 상기 연결부의 하부에 결합되는 하부 플레이트, 및 상기 하부 플레이트에 결합되고 상기 카세트에 수납된 웨이퍼의 테두리에 접하여 상기 웨이퍼를 고정시키는 복수의 핑거를 구비하는 가드 클램프를 포함한다. 이러한 본 발명은 OHT가 승하강, 직선 또는 곡선부를 주행할 때 발생할 수 있는 웨이퍼의 흔들림을 방지하여 웨이퍼의 손상을 방지하는 효과가 있다.

대표변리사

김순웅

정진국제특허법률사무소 상담문의 02-6677-7612