리튬-이온 전지용 애노드 구성요소는 대기 플라즈마 증착을 사용하여 형성된다. 애노드 구성요소는 높은 리튬-삽입 용량 실리콘 입자를 금속 입자의 결합된 층의 공극에서 활성 애노드 물질로서 포함하는 애노드 물질 층을 갖는다. 대기 플라즈마 증착 공정은 금속 입자 및 더 작은 실리콘-함유 입자를 동시에 또는 순차적으로 리튬-이온 전지용 애노드 집전체 기판 또는 폴리머 세퍼레이터 기판 상에 증착한다. 애노드 물질 층은 선택적으로 대기압 플라즈마 증착 공정에서 리튬화될 수 있다. 플라즈마 증착 공정은 매트릭스의 공극 내에 지지되고 운반되는 전극 물질 입자의 더 작은 입자를 함유하는 다공성 금속 매트릭스로 본질적으로 이루어진 다공성 전극 층을 기판 상에 형성하는데 사용된다. 애노드 구성요소가 전지로 조립될 때, 잔류 공극 용량은 리튬-이온 함유 액체 전해질 용액으로 채워진다.