본 발명은 모델링 방법을 제공하는 것으로, S1), 소스, 드레인, 게이트가 구비된 테스트 구조를 설계하여 테스트 구조를 테스트함으로써 테스트 데이터를 획득하는 단계; S2) 상기 테스트 데이터에 따라 모델 파라미터를 추출하는 단계; S3) 소스-드레인 전압과 리크전류의 관계를 기반으로 상기 모델 파라미터의 물리적 특성의 합리성 검증을 수행하여, 합격으로 검증되면 모델 파일을 생성하여 단계 S4)를 수행하고, 불합격으로 검증되면 단계 S2)로 되돌아가서 합격될때까지 모델 파라미터를 조정하는 단계; S4)상기 모델 파일에 대해 품질 보증 검사를 수행하여, 합격으로 검사될 경우 모델링을 완성하고, 불합격으로 검사될 경우 단계 S2)로 되돌아가서 합격될때까지 모델 파라미터를 조정하는 단계를 포함한다. 본 발명은 모델 파라미터를 추출한 후 물리적인 합리성의 검증을 거쳐 모델 파라미터 오류 여부를 빠르게 검증 가능 및 모델 파라미터를 바로 효과적으로 조정 가능하여 종래의 모델링 프로세스에 비해 보다 효율적으로 문제를 파악할 수 있으므로 프로젝트 진행 속도를 크게 향상시키고 개발 비용을 절감할 수 있다.