분배 장치용 마그네틱 드라이브(MAGNETIC DRIVE FOR DISPENSING APPARATUS)
분배 장치용 마그네틱 드라이브(MAGNETIC DRIVE FOR DISPENSING APPARATUS)
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특허 출원일자 : 2016.09.07
특허 등록일자 : 2017.07.03
특허 등록번호 : 10-1755393-0000
기판에 소정량의 점성 물질을 분배하는 디스펜서 프레임과, 프레임에 결합된 갠트리 시스템(gantry system), 및 갠트리 시스템에 결합된 디스펜서 유닛을 포함한다. 디스펜서 유닛은 챔버를 갖는 하우징과, 챔버 내에 배치된 피스톤을 포함한다. 피스톤은 연장된 몸체를 가지며 챔버 내에서 분배전(pre-dispense) 위치와 분배 위치 사이에서 이동하도록 구성된다. 디스펜서는 챔버 내에서 피스톤의 이동을 구동시키기 위한 모터를 더 포함한다. 모터는 회전 샤프트와, 회전 샤프트에 결합되며 적어도 하나의 구동 자석을 구비한 휠, 및 휠과 피스톤의 헤드 사이에 배치된 피동 자석을 포함한다. 디스펜서는 하우징에 결합된 노즐을 더 포함한다. 노즐은 점성 물질을 분배하기 위한 오리피스를 구비한다. 디스펜서의 다른 실시예 및 분배 방법이 또한 개시된다.
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