풉 퍼징 모듈용 유량계(FLOW METERS FOR FOUP PURGING MODULE)
풉 퍼징 모듈용 유량계(FLOW METERS FOR FOUP PURGING MODULE)
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특허 출원일자 : 2015.07.17
특허 등록일자 : 2017.02.15
특허 등록번호 : 10-1708806-0000
본 발명의 풉 퍼징 모듈용 유압계, 케이싱; 상기 케이싱에 설치되어 풉 퍼징모듈에서 배출된 가스가 흐르는 유로블록; 상기 유로블록에 설치된 오리피스; 및 상기 오리피스의 입력단과 배출단의 차압을 측정하는 차압계;로 구성되되, 가스는 상기 차압계를 관통하여 흐르지 않으며 상기 유로블록은 통과하여 지나가는 것을 특징으로 한다.이에 따라, 부식성 공정가스의 영향을 받지 않는 오리피스와 차압계에 의해 유압계의 수명이 길어지며 측정오류가 발생하지 않으며 풉의 배출구 측 유량을 측정할 수 있는 효과가 있다.
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