본 발명의 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼는, 풉이 저장되는 선반(Shelf); 상기 선반에 설치되어 풉의 공정가스를 배출시키는 퍼징모듈;로 구성되되, 상기 퍼징모듈은 선반에 풉이 저장되는 것을 감지하여 질소가스를 풉의 내부로 주입하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 사이드 트랙 버퍼에 저장된 풉의 내부로 질소가스를 공급하여 공정가스를 제거하는 효과가 있다.