본 발명은 카세트를 웨이퍼링 테이블에 로딩 및 언로딩하는 카세트 처리 시스템에 관한 것으로서, 상기 직선이동부의 하부에 결합된 카세트 이송용 셔틀을 상하로 이동시키는 상하이동부와, 상기 상하이동부에 의해 상하로 이동하는 카세트를 임시로 반입 및 반출하기 위한 다수의 프레임에 의해 사각틀 형상으로 형성된 측방의 버퍼수단에 대하여 진퇴이동하되, 상기 카세트 이송용 셔틀에 현가된 카세트의 하부를 받치는 선반부재를 진퇴이동하는 제1 직동수단을 구비하고, 상기 제1 직동수단은, 상기 선반부재의 일측에 일단이 지지되고, 타단은 상기 카세트 이송용 셔틀에 고정된 제1 서보 모터와, 상기 제1 서보 모터의 구동축에 결합된 제1 피니언의 회동에 연동하여 좌우이동하도록 기어 맞물림 결합된 제1 구동 랙부재와, 상기 제1 구동 랙부재의 좌우방향 이동력에 의해 회전되는 전동 피니언 쌍의 회전운동을 직선운동으로 전환하되, 상기 제1 구동 랙부재의 이동력을 상기 선반부재에 전달하도록 상기 제1 구동 랙부재의 상하 대응면에 배열된 제1 및 제2 지지 랙부재와 이 제1 및 제2 지지 랙부재 사이에 개재되고 상기 제1 구동 랙부재에 회전 가능하게 양단측에 이격되어 지지되고, 전동부재가 상호 걸어감김 결합된 전동 피니언 쌍으로 구성되어, 카세트에 대한, 설정 처리영역에서 웨이퍼링 테이블까지의 로딩 및 언로딩하는 시간을 대폭 줄여 ...(이하생략)